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高精度汚染制御

ISOクラス2クリーンルームソリューション

半導体、ナノテクノロジー、その他の先端精密製造環境のための、統合調達および汚染制御サポート。

ISOクラス2の生産環境を維持するには、浮遊粒子に対する厳格な制御が求められます。1立方メートルあたり0.1 µm以上の粒子が100個以下という制限下では、ガウン素材、ろ過効率、表面材のわずかな差異が生産歩留まりに影響を及ぼす可能性があります。

ISOクラス2クリーンルーム生産環境

100

粒子 ≥0.1 µm/m³

U15/U16

ULPAフィルタークラス

ISOクラス2が重要な理由

サブミクロン単位での汚染制御

ISOクラス2において、最大の目的はサブミクロン汚染の完全排除です。グレードの低いクリーンルームとは異なり、これらの施設では、乱流を最小限に抑え、重要なプロセスゾーンへの粒子の侵入を防ぐよう設計された、特殊な低発塵素材や機器が必要です。

01

発生源の制御

低発塵の衣服、手袋、ワイパー、表面材により、粒子の発生を抑えます。

02

プロセスの保護

ULPAろ過、制御された気流、接地されたワークステーションが、安定した生産条件をサポートします。

03

性能の検証

リアルタイム監視と文書化されたコンプライアンスにより、検査への即応体制を維持します。

技術仕様

ISOクラス2の運用要件

以下の仕様は、人員、空気、材料、ESD保護、清掃、監視を網羅する、高グレード汚染制御プログラムの中核要件を定義したものです。

パラメータ 仕様要件
許容粒子濃度 最大100個(≥0.1 µm / m³)
主な用途 半導体ウェハ製造、ナノテクノロジー、EUVリソグラフィ
人員保護 フードとマスクが密閉された、全身一体型の低発塵カバーオール
空気ろ過 ULPA U15/U16フィルター(効率99.99995%)
クリーンルーム消耗品 ISOクラス2認定ワイパーおよび超低アウトガス手袋
ESD要件 導電性床材および接地されたワークステーション
清掃頻度 連続監視および毎日の除染サイクル
監視機器 リアルタイムパーティクルカウンターおよび差圧センサー

統合調達

高精度環境のための単一サプライチェーンブリッジ

ISOクラス2施設のために複数のベンダーを管理することは、コンプライアンスリスクや調達の遅延を招く恐れがあります。CleanroomLinkは、ろ過システム、特殊ガウン、クリーンルーム消耗品、および関連機器を認定メーカーから調達する、統合調達ブリッジを提供します。

これらの製品カテゴリーを調整することで、機器メーカーと消耗品サプライヤー間のコミュニケーションの齟齬を減らします。また、汚染が制御エリアに達する前に、作業員の衣服、ワークステーション、表面材の適合性を確保します。

調達ワークフロー

  1. 1

    仕様の検証

    出荷前に、ロットごとの粒子数およびアウトガス制限を確認します。

  2. 2

    納期の同期

    機器、消耗品、衣服を、建設やメンテナンスのスケジュールと調整します。

  3. 3

    技術文書の提供

    サイト検査時の事務作業を軽減するため、コンプライアンス関連書類を添付します。

認証重視の選定

文書化されたコンプライアンスに基づき選定された製品

高リスクな製造現場では、コンプライアンスは必須です。当社は、ASTM、EN、および保護材料に関するISO 13997:2024要件を含む、社内および第三者監査に必要な試験報告書と証明書を備えた、検証可能な基準を満たす製品を提供します。

プレミアムソリューション

ティア01

CE、EN、ASTM準拠オプションを含む、高コンプライアンス輸出市場向けの完全認証製品。

標準ソリューション

ティア02

中規模から大規模の精密製造に適した、信頼性の高いISO準拠製品。

コスト最適化ソリューション

ティア03

運用オーバーヘッドを削減しつつ、技術仕様を満たす性能検証済みの代替品。

セットアップおよびアップグレードサポート

機能的で汚染に強いシステムの構築

新規施設の建設であれ既存施設のアップグレードであれ、当社のチームが生産歩留まりを保護するハードウェアと消耗品の選定を支援します。カタログを閲覧するだけでなく、貴社のクリーンルーム運用要件に合わせて製品仕様を調整します。

  • ろ過、ガウン、消耗品、ESD制御、監視機器の調整。
  • 新施設建設、メンテナンススケジュール、クリーンルームアップグレードのサポート。
  • 認定メーカーとの直接的な関係により、調達の遅延を削減。

従来の調達プロセスの複雑さを排除し、ISOクラス2の性能を維持。

当社のチームと施設要件を検討し、明確で費用対効果が高く、文書化された調達計画を策定します。

プロジェクトについて相談する

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ISOクラス2調達プログラムの計画

プロジェクトの仕様とコンプライアンス要件をお送りください。CleanroomLinkが、貴社の生産環境に合わせた包括的なソリューションを提供します。

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焦点を絞った回答のため、施設スコープ、必要な認証、納期、製品カテゴリーを含めてください。